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浏览: 发布日期:2023-06-04

  指日,连城数控、晶盛机电300316)等当先拉晶摆设企业先后发表新品。连城数控发表KX420PV 单晶炉,晶盛机电发表第五代单晶炉,联合特质是引入了磁场模块,可有用低浸硅片氧含量、擢升硅片品格。

  焦点请求正在于碳氧含量更低、少子寿命更高。目前N型電池擴産的主流身手途徑是TOPCon。TOPCon爲高溫工藝,會激勵氧原子,矽片中的氧浸澱釀成氧環、缺陷放大,形成一心圓、暗片等題目,對電池成果形成較大影響。所以,跟著N型滲入率的擢升,矽片質料及分娩身手必要新的升級。

  矽片中氧和雜質的起原搜羅矽熔體與坩埚反映、矽料中自帶氧和雜質等。所以拉晶经过中关于硅熔体对流的限定较为苛重。目前主流RCZ身手正在热场、加热器、炉体安排及拉晶工艺等方面已臻于成熟。新身手方面,目前较为可行的宗旨是正在拉晶炉中参加磁场模块(MCZ身手),通过引入磁场,可有用造止硅熔体热对流,低浸氧的酿成和传输,从而低浸晶体中氧含量。其它,磁场正在造止单晶中滋长条纹、降低杂质径向散布匀称性等方面也相称有用,可能全部擢升硅片品格。

  MCZ身手正在半导体中行使较为遍及,依据新思界,目前环球鸿沟内MCZ是分娩300mm及以上尺寸半导体级单晶硅的首要手法。

  磁场搜罗永磁场、勾型磁场、程度磁场、超导磁场等。从半导体进展道途看,超导磁场相对较为主流。采用超导磁体供给5000Gs安闲磁场的MCZ身手是目前国际上分娩300mm以上大尺寸半导体级单晶硅的最首要手法。从本钱看,MCZ必要单晶炉增进磁场模块,并正在分娩经过中带来出格磁场电力耗费,所以合座分娩本钱高于RCZ。跟着身手先进及家当化饱动,咱们以为MCZ单晶炉本钱及电力耗费存正在较大降低空间,从而完毕本钱上的追逐。

  咱们以为MCZ身手可能有用擢升硅片品格,希望慢慢增添行使,带来拉晶摆设和相应零部件新的投资机遇,同时当先硅片企业希望正在身手先进中得回更大的竞赛上风,享福身手盈利。

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